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IM体育官方网站首页 新傲芯翼恳求键合晶圆过头制备模范专利,减少大概幸免剥离搞定后的键合晶圆出现坑洞劣势 发布日期:2026-04-02 23:50 点击次数:164

国度学问产权局信息泄漏,上海新傲芯翼科技有限公司恳求一项名为“键合晶圆过头制备模范”的专利,公开号CN121772615A,恳求日历为2025年12月。
专利摘抄泄漏,本发明提供一种键合晶圆过头制备模范,对器件衬底轮番本质第一等离子体搞定工艺和第二等离子体搞定工艺,第一等离子体搞定工艺和第二等离子体搞定工艺领受的等离子体不同,第一等离子体搞定工艺不错去除器件衬底上的氧化层名义的欺侮物,使氧化层的名义洁净,ag真人app并不错提升其名义活性,使得氧化层的名义产生多半吊挂键。第二等离子体搞定工艺领受的等离子体与第一等离子体搞定工艺后酿成的具有高活性名义的氧化层发生化学响应,开荒氧化层名义因第一等离子体搞定工艺的离子轰击而酿成的氧空位,提升氧化层名义的密度,IM体育官方网站使得氧化层具有高强度的亲水键合名义,加多器件衬底与复旧衬底之间的键协力,减少大概幸免剥离搞定后的键合晶圆出现坑洞劣势。
天眼查尊府泄漏,上海新傲芯翼科技有限公司,配置于2022年,位于上海市,是一家以从事科技扩充和运用办做事为主的企业。企业注册本钱80000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,上海新傲芯翼科技有限公司参与招投标花式25次,财产陈迹方面有商标信息9条,专利信息67条,此外企业还领有行政许可5个。
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